XP-703D檢漏儀（半導體用）產品特點
•最適合於檢測半導體特氣的微量洩漏,PGM3300有毒氣體檢測儀。
•通過報警燈和蜂鳴器即可得知氣體洩漏。
XP-703D檢漏儀技朮參數
對象氣體 半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理 熱線型半導體式
取樣方式 自動吸引式
測量範圍（ppm） 砷烷 燐烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
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